超聲波電機

超聲波電動機是基于壓電現象產生超聲駐波的原理而開發的，應用于運動控制領域的精密電機。與直流電動機相似，具有高分辨率和壓電驅動裝置的動態特性。電動機工作時沒有內在磁場和運動部件，結構緊湊，行程不受限制，能夠達到直線和旋轉電動機所不能匹敵的精度。

給超聲波電機輸入驅動電壓后，壓電材料產生壓電現象，同時發生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產生二維聲波，從而產生驅動力進行直線或旋轉運動。但沒有驅動電壓的時候能夠維持一個保持力矩，不產生位移和滯后。

可用在從普通環境到超高真空環境的半導體設備、平面平臺設備、光學纖維制動態元件制造、存儲介質制造和測試設備、生物醫藥和制藥、度量衡和超高精度的微型數控等設備中。

具有定位精確，分辨率可達1μm，精度10nm，運動速度平穩，低10μm/s，高250mm/s，標準應答時間為50～75μs，整定時間明顯優于一般伺服電動機，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機的1/10，定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題，而且超聲波電機具有重量輕，體積小，行程無限制等特點。

音圈電機

音圈電機是一種特殊形式的直接驅動電機，能將電能直接轉化成直線運動機械能而不需要任何中間轉換機構的傳動裝置。

其原理是:在均勻氣隙磁場中放入一圓筒狀繞組，繞組通電產生電磁力帶動負載作直線往復運動，改變電流的強弱和極性，就可改變電磁力的大小和方向。

音圈電機是一種反應頻率快的直驅式電機，分圓柱音圈電機，擺角音圈電機，矩型音圈電機。音圈電機具有零磁滯、零磁槽效應，高響應，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，體積小和分辨率無限小等優點。

根據驅動、反饋、控制器和控制算法等配置高低，音圈電機一般可以達到500-1000Hz的運動頻率，甚至更高。