超聲波清洗機的結構一般有超聲電源和清洗器合為一體或分開布局兩種形式，一般小功率（200W以下）清洗機用一體式結構，而大功率清洗機采用分體式結構。

超聲波清洗機分體式結構由三個主要部分組成（1）清洗缸；（2）超聲波發生器；（3）超聲波換能器。

清洗缸：清洗缸是用來裝載清洗液及被清洗工件的不銹鋼容器，大多數工件可先裝在網狀框架內，再一起放人缸內清洗。

超聲波發生器：超聲清洗機用的超聲波發生器，從使用的元器件種類可以分電子管式的，可控硅式的和晶體管式的。近幾年來已經發展到用大功率“功率模塊”的方式。其輸出功率從幾十瓦直到幾千瓦，工作頻率從15kHz-40kHz。

超聲波清洗機用的超聲波發生器，有以下特點：
（1）隨著清洗液深度不同，換能器共振頻率和阻抗變化很大。但是實踐表明，槽內放進適量清洗物后，基本上就可以穩定在某一定數值上。
（2）一般來說，由于清洗負載變動較小，可以不要求復雜的頻率自動跟蹤電路。
（3）實用超聲波發生器，大多數采用大功率自激式反饋振蕩器。